قائمة الروابط

الهـدف:

          يعطي هذا المقرر للطالب صورة واضحة عن مزايا الدوائر المتكاملة على دوائر العناصر المنفصلة، طرق وأساليب تصنيع الدوائر المتكاملة وأسس تصميميها ومعالجتها وتقييمها.

 

التوصيف:

تكنولوجيا الدوائر المتكاملة السليكونية، نظرية وتطبيق  تصنيع وتصميم الدوائر المتكاملة، التأكيد على علاقتها  بأداء الدائرة.

 

المفردات:

قواعد تصميم الأقنعة: طرق تصنيع الأقنعة المختلفة لكل عنصر (المقاومة والمكثفات) من عناصر الدائرة الكهربية.

 التصوير على الحجر: عمل الصور اللازمة لتقليل حجم الدائرة.

 الأنواع المختلفة من التخطيات: التخطي المدفون، التخطي باستخدام موقع المقاومة المنتشرة، ناقل مزدوج القاعدة والتخطي المعدني متعدد الطبقات.

 عملية الانتشار: قانوني فيك الأول والثاني، معادلة الانتشار، انتشار ما قبل الترسيب باستخدام (مصدر جامد، مصدر سائل أو مصدر غازي)، الانتشار الداخلي ومعامل الانتشار المتوسط، الانتشار الخارجي.

 تقييم نتائج الانتشار: قياس معاملات الانتشار عن طريق قياس أ ـ عمق الوصلة   ب ـ المقاومة السطحية.

 عملية الأكسدة: الأكسدة لطبقة خاملة، الأكسدة كعملية انتشار باستخدام قوانين فيك، قانون هنري والنموذج الكهربي لعملية الأكسدة، المعادلة التفاضلية لنمو الاكسده، تأثير نمو الأكسدة على السطح السيليكوني، تأثير الأكسدة على إعادة توزيع الشوائب.

 النمو المحوري المنقوش للسيليكون: الدائرة الكهربية لعملية نمو النقش المحوري ومحدوديتها (محدودية تفاعل السطح، محدودية انتقال الكتلة، تأثير مخلوط الغاز على معدل النمو).

 

المراجع:

 

    1.    Hamilton and Howard, "Basic Integrated Circuit Engineering," McGraw-Hill, 1975.

    2.    William C. Till and James T. Luxon, "Integrated Circuits, Materials, Devices, and Fabrication," Prentice Hall, 1981.

   3.   Deboo and Burrous, "Integrated Circuits and Semiconductor Devices, Theory and Application," McGraw-Hill, 1977.